ＦＰＤ用非接触型インライン表面形状測定装置

特徴

３次元画像処理計測システムをベースに、XYステージ、制御システム、ＣＩＭ通信等の総合システム設計・構築を三菱化学エンジニアリング・メカトロセンターにて行い、インライン用途向けの液晶パネルＰＳ（Ｐｈｏｔｏ-Ｓｐａｃｅｒ）高さ計測装置を開発しました。

取り組みについて

（株）菱化システム（RSI社）が有するVertScanを用いた画像解析技術と三菱化学エンジニアリング・メカトロセンターが有する自動化設備技術との協業で新たな高付加価値検査装置を提供します。

製品コンセプト 　　　　　測定性能重視と高カスタマイズ性

RSI社が有するVertScanにより、光干渉方式による高精度測定が可能です。４μｍのPS測定時に再現性σ＜６nm以下を達成します。このソフトウェアは、お客様のニーズに合わせ最適なシステムをご提案・構築します。
ハードウェアは、三菱化学エンジニアリング・メカトロセンターが有する自動化設備技術により、設備設置環境（クリーン度、温湿度、環境振動）への対応、処理能力（ワークサイズ、タクトインデックス）の設定、付帯設備（CAS・CIM対応、FTP転送機能）との連携を考慮し、お客様のニーズに対応したインライン装置としてご提供します。

・測定性能重視

先ずは、お客様のサンプルを事前に測定評価させていただき、測定データ実績に基いた測定能力を提案します。

VertScanの原理

白色光源の光をバンドパスフィルタにより特定の波長幅の光に制限し、この光を二光束干渉対物レンズ内でビームスプリッタのより分割され測定サンプル表面と参照面表面に照射されます。それぞれからの反射光をCCDカメラ表面で結像し、レンズと対象物との距離を計測します。このときの干渉縞像の変化量を画像処理にて捕らえ、独自のアルゴリズムで高さ情報に変換（計算）する非接触の３次元計測システムです。

VertScan計測事例

PS検査装置タイプ

＜お客様のご要求を伺います＞